监理单位在审查施工单位的专项施工方案时，需要遵循以下步骤和原则：
1. 了解项目背景：监理单位首先要了解项目的基本情况，包括项目的性质、规模、地理位置、建设周期等，以便对施工方案进行有针对性的审查。
2. 收集相关资料：监理单位需要收集施工单位提交的专项施工方案及其相关附件，如施工图纸、施工组织设计、施工进度计划等，以便进行全面审查。
3. 审查方案内容：监理单位应对施工方案的内容进行详细审查，主要包括以下几个方面：
a. 合规性：审查施工方案是否符合国家法律法规、行业标准和技术规范的要求，以及是否按照合同约定和设计文件执行。
b. 完整性：审查施工方案是否涵盖了所有必要的内容，如施工方法、施工顺序、施工工艺、安全措施、质量保障措施等。
c. 可行性：审查施工方案是否具有可操作性，能否在实际施工中顺利实施，以及是否存在不合理或不可行的地方。
d. 安全性：审查施工方案中的安全措施是否到位，是否符合安全生产的要求，以及是否有针对性地预防和控制施工过程中可能出现的安全风险。
e. 经济性：审查施工方案是否经济合理，是否充分考虑了成本控制和资源利用，以及是否存在浪费和不合理的地方。
4. 提出意见和建议：监理单位在审查过程中，应针对发现的问题和不足之处，提出具体的意见和建议，要求施工单位进行修改和完善。同时，监理单位还应与施工单位进行充分沟通，确保双方对施工方案的认识和理解一致。
5. 审核批准：在施工单位根据监理单位的意见和建议对施工方案进行修改完善后，监理单位应再次进行审查。如果认为施工方案已经符合要求，可以予以批准；否则，应继续提出意见和建议，要求施工单位进行修改。
6. 跟进监督：在施工方案批准后，监理单位还应加强对施工单位的监督和管理，确保施工方案得到有效执行，及时发现和解决问题，确保工程质量和安全。（飓风）
